Ausstattung_old
Geräteausstattung im Reinraumlabor des LEB
Auf den folgenden Seiten wird die Ausstattung des Reinraumlabors am LEB vorgestellt. Die Übersicht gliedert sich dabei nach verschiedenen Prozessmodulen:
- Dünnschichttechnik
- Oxidation
- Chemische Dampfphasenabscheidung (CVD)
- Physikalische Schichtabscheidung (PVD)
- Spin-On-Verfahren
- Strukturierung
- Photolithographie
- Nasschemisches Ätzen
- Trockenätzen
- Dotierung
- Ionenimplantation
- Ofentechnik/Schnelles thermisches Ausheilen
- Prozessmesstechnik
- Schichtdickenmessung
- Linienbreitenmessung
- Schichtwiderstandsmessung