Ausstattung

Auf den folgenden Seiten wird die Ausstattung des Reinraumlabors am LEB vorgestellt. Die Übersicht gliedert sich dabei nach verschiedenen Prozessmodulen:

• Dünnschichttechnik
  • Oxidation
  • Chemische Dampfphasenabscheidung (CVD)
  • Physikalische Schichtabescheidung (PVD)
  • Spin-On-Verfahren
• Strukturierung
  • Photolithographie
  • Nasschemisches Ätzen
  • Trockenätzen
• Dotierung
  • Diffusion (Ofentechnik, schnelles thermisches Prozessieren (RTP))
  • Ionenimplantation
• Prozessmesstechnik
  • Schichtdickenmessung
  • Linienbreitenmessung
  • Schichtwiderstandsmessung