Reinraumlabor

Der Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente unterhält ein Reinraumgebäude mit einer Laborfläche von 600 m² der Klasse 10 und 400 m² der Klasse 1000. Die moderne Geräteausstattung bietet hervorragende Voraussetzungen für die anspruchsvollen Forschungsaufgaben im Bereich der Mikro- und Nanoelektronik.

Gemeinsam mit dem Fraunhofer IISB wird eine umfangreiche Prozesstechnik betrieben, die CMOS-kompatible Prozessschritte für die Fertigung von Teststrukturen und Testbauelementen in 150 mm-Siliciumtechnologie ermöglicht. Einzelne Prozessschritte sind für Scheibengrößen bis hin zu 300 mm verfügbar. Darüber hinaus betreibt der LEB eine Pilotlinie zur Fertigung von Bauelementen auf Siliciumcarbid-Substraten.

Innerhalb der Arbeitsgebiete Halbleiter- und Nanotechnologie, Halbleiterfertigungsgeräte und -methoden sowie Technologie- und Bauelementesimulation werden Forschungsarbeiten durchgeführt, die sich in der Entwicklung, Optimierung und Umsetzung von Prozessschritten der Mikroelektronik-Fertigung ergänzen. Seitens des IISB wird das Forschungsspektrum um das Arbeitsfeld Kristallzucht erweitert.

Auf allen Gebieten bestehen enge internationale Kooperationen mit anderen Forschungseinrichtungen und der Industrie.